年产刻蚀机、PVD等设备超150台 北方华创集成电路装备项目或6月竣工

2 月21日，北方华创高端集成电路装备研发及产业化项目，目前正在装饰装修阶段，该项目预计6月初全部竣工，并将交付业主使用。据悉，该高端集成电路装备研发及产业化项目为地下2层、地上10层，将建设28纳米以下集成电路装备工艺验证及产业化条件，搭建5或7纳米先进工艺设备测试验证平台，进行先进半导体工艺装备研发及产业化。项目建设完成后，将具备年产刻蚀机、PVD、退火炉、立式炉、清洗机等设备150台以上的能力。（集微网）原文链接