芯源微电子为IC装备国产化提速

7月27日，沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源公司”）高端晶圆处理设备产业化项目开工仪式隆重举行，该项目共投资5.28亿元，主要用于生产高端晶圆处理设备，包括前道涂胶/显影机及前道单片式清洗机等。该项目的落户，将打造东北地区顶级半导体专用设备研发与生产基地，是见证中国IC装备发展历史的一个重要节点。

项目开工现场，芯源公司董事长宗润福表示，芯源公司从无到有，得益于长期的技术积累以及半导体行业的投资升温，尤其是受到今年新冠肺炎疫情的影响，让芯源公司订单量持续增长，今年公司扩招20%员工，迎来发展“元年”。芯源公司众志成城对抗疫情的同时，抓紧完成订单，包括显影机、涂胶机、清洗机、单片湿法刻蚀机及去胶机五大系列产品，实现了IC装备的国产化。

芯源公司是中国科学院沈阳自动化研究所持股的一家高新技术公司，专注于半导体生产设备的研发、生产、销售及服务，致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。在成立之初面对科技体制的改革，芯源公司依托沈阳市浑南区的政策支持，积极与韩国企业合作，引进先进技术进行消化、吸收、创新，努力开辟一条属于自己的特色发展之路，致力于生产出光机电、流体力学、材料学、化学等多学科综合应用的高精尖一体化IC芯片核心设备。

IC设备对于精密度要求相当严格，属于我国芯片产业链中最为薄弱的环节，芯源公司作为中国科学院第一家登陆科创板的院所投资企业和辽宁省首家科创板上市企业，依托沈阳当地的政策支持，如：《辽宁省集成电路产业实施意见》等多项政策，紧抓技术优势，持续创新、错位发展，瞄准产业链上游，不断迭代、层层突破，在中国IC装备产业中与北京、上海形成三足鼎立，填补了国内空白。

近年来，随着国家对半导体产业的不断重视，国内半导体产业逐渐实现从无到有、从弱到强，国产设备已达到国际先进水平。辽宁作为老工业基地拥有完整的产业链和开放融合的发展理念，未来，在市场需求的推动下，在政策的支持下，将继续打造良好的营商环境，助力智能制造类企业产研的大力投入，在部分细分领域取得更多进展。

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